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晶圆激光退火系统
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晶圆激光退火系统
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产品描述
参数
技术参数
技术特点
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高性能激光器 激光器、光束质量好、稳定性好、单脉冲能量高。 |
优化的光学系统 光束整形，定制的平顶光斑提高退火温度一致性和加工效率。 |
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完全自动执行 机器视觉定位，精度高，无需人工干预，操作简单，效率高。 |
激光防护系统 符合工业标准的激光防护结构，保证操作人员安全。 |
关键词:
晶圆激光
退火系统
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