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浙江中科镭特电子有限公司

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晶圆激光开槽系统

LTUF300S是一台集多功能性和智能化于一体的晶圆激光自动切割系统。多功能体现在可用于LOW-K、WLP等多种表面材料的晶圆切割。智能化体现在此系统配备CCD图像定位系统、自动校准系统、随动系统、全自动上下料系统和常规应用的数据库自动调用系统。
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产品描述
参数
技术参数

一、高可靠的批量生产系统

抗振的大理石平台支撑结构
低维护成本的飞秒激光器
独有的激光表切技术
全自动上下料系统
高精度长寿命的运动平台
CCD定位系统使加工智能化
精密的陶瓷微孔吸盘
自动对焦系统保证加工的焦点位置
科学的结构保证加工稳定性
用户界面友好软件功能强大

二、技术特点

高性能激光器

进口飞秒激光器,光束质量好、聚焦光班小、切割质量高。
超高切割精度

高精度进口直线电机运动系统,切割精度控制在微米量级。
完全自动定位

机器视觉抓取Mark点定位,精度高,无需人工干预,操作简单,效率高。
图档处理方便

切割图档只需使用AutoCAD等处理即可使用。
大理石结构

全大理石框架结构,减震隔离设计,保证光路稳定,高速运动。
激光防护系统

符合工业标准的激光防护结构,保证操作人员安全。

 

关键词:
划片机
自动切割
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晶圆激光自动切割系统 LTUF300s

 

晶圆尺寸

≤ Φ12"

X/Y 轴加工范围(mm

310

X/Y 轴移动速度(mm/sec

最大速度 1000

X/Y 轴分辨率(μm

0.1

X/Y 轴重复定位精度(μm

全行程± 1

Z 轴加工范围(mm

15

Z 轴分辨率(μm

0.1

Z 轴重复定位精度(μm

±1

 加工振镜系统 数字高精度振镜
最快加工速度(mm/sec) 6000
加工定位精度(μm) 1
激光器 飞秒
激光功率 大于15
激光频率 大于1

θ 轴旋转范围(°)

±190

θ 轴分辨率(°)

0.0005

整机功率(kW

6.5

整机重量(kg

2950

整机尺寸(mm ) 长

2500 x 1500 x 1900

 

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